ミウラ ウエハー端面検査装置 国内外で販売強化 機能絞り込み低価格に

摘要

(株)ミウラ(広島市中区南千田東町3-9、082-246-1155)は、1分で25枚のシリコンウエハー端面を一括して検査可能なウエハーエッジ検査装置を開発、このほど本格販売を開始した。機能を絞り込むことで既存製品よりも大幅にコストダウンを図り、国内外の顧客に売り込む。来期上期(2013年11月～14年4月)だけで10台の販売を見込む。