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ITO-金属複合膜用 一括エッチング剤な紹介

机译:ITO-金属复合膜批量蚀刻剂的介绍

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摘要

ADEKAは、スマートフォン、タブレット端末のタッチパネル向けにファイン化に対応するITO-金属複合膜用一括エッチング剤「アデカゲルミカITO-4400Z」を展開する。画面の拡大に伴い狭額縁化が進み、M-ITOフィルムにフォトリソ法を用いた手法がトレンドとなっている。通常3回のエッチングを要する工程を、一括エッチングで工程削減し、生産性•歩留まり向上に貢献する。現在の量産はピッチ80ミクロンだが、将来のファイン化を見越したピッチ40ミクロンも開発中。
机译:ADEKA正在开发用于ITO-金属复合膜的批量蚀刻剂“ ADEKA GERMICA ITO-4400Z”,该蚀刻剂支持对智能手机和平板电脑终端的触摸屏进行微调。随着屏幕的扩大,框架变得越来越窄,并且使用光刻法用于M-ITO膜的方法已经成为趋势。通过减少需要通过批量蚀刻进行三次蚀刻的步骤,有助于提高生产率和产量。当前的批量生产量为80微米,但是我们正在为将来的细度开发40微米的间距。

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  • 来源
    《电波新闻》 |2013年第5期|a5-a5|共1页
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