微量サンプリングPHモニター開発 堀場エステック、半導体製造プロセス向け

摘要

堀場エステックはこのほど、500マイリツクロトル(1リツトルの100万分の1)の試料量でPHを連続測定できる世界初の半導体製造プロセス向け微量サンプリングPHモニター「UP-100」を開発した。同装置により、半導体の洗浄やエッチング工程で薬液のPH常時監視が可能になる。薬液の変質を"PHで見える化"することでプロセス不具合の早期発見につながり、品質や生産効率が向上する。