レーザーテック EUVマスク ブランクス欠陥 検査／レビュー装置発表

摘要

レーザーテックはこのほど、EUVマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置ABICS「E120」を発表した。 同装置はEUV光を用いた検査／レビュー方式を採用し、転写性欠陥の選択的な検出とEUV光による欠陥解析が可能。これらの性能はEUVマスクブランクスの欠陥管理や歩留まり向上に大きく貢献する。