レーザーテックマスクブランクス欠陥検査装置を発表

摘要

レーザーテック㈱(横浜巿港北区新横浜2-10-1、045-478-7111)は、5nm以降の最先端プロセスに向けた半導体マスクブランクス欠陥検査装置として、高感度・高スループット化に対応したMAGICSシリーズ「M9650/M9651」を製品化した。