枚葉メタル成膜装置の販売開始東京エレクトロン

摘要

東京エレクトロンは、枚葉メタル成膜装置「トリアス(Triase)+EX-Ⅱ Pro」=写真=の販売を10月から開始する。発売するのは、TiN膜(窒化チタン膜)ならびにTiSiN膜(ケイ窒化チタン膜)を、ナノスケールで低温かつ緻密な膜で成膜可能な高速枚葉ASFD (アドバンスト·シーケンシャル·フロー·デポジション)装置。