業界初、ゥェハー裹面洗净装置スクリーンセミコンダクターが開発

摘要

SCREENホールディングスのグループ会社、SCREENセミコンダクターソリューションズは、このほど、業界初※1となる、薬液によるエツチング/洗浄機能とブラシを使用した物理洗浄機能を併せ持つ、ウェハー裏面洗浄装置「SB-3300」〔写真〕を開発。2020年12月から販売を開始した。近年、テレワーク、オンライン授業、ストリーミング配信などによるデータトラフィック量の増加に伴い、デー夕センター巿場が拡大してぃる。それに加えて、5G対応スマートフォンや車載·産業機器を中心としたIoTインフラの急速な普及により、これら先端市場に向けた高度な半導体デバイスへの需要が高まっている。しかし、高度なロジックやメモリーなどの製造プロセスでは、回路のさらなる微細化や高集積化に伴って、ゥェハー裏面に付着するパーティクルやウェハーの反りに起因する歩留まり低下が問題となっており、これまで以上にウェハー裏面の洗浄に対する重要性と生産性向上への要求が高まっている。