机译:hbox {Ar / N} _ {2} $脉冲调制感应热等离子体中进入反应室的氮原子密度和焓流的控制
Enthalpy flow; nitrogen atomic density; pulse-modulated induction thermal plasma (PMITP);
机译:hbox {Ar / N} _ {2} $脉冲调制感应热等离子体中进入反应室的氮原子密度和焓流的控制
机译:使用Ar-N_2脉冲调制感应热等离子体同时控制N原子的数值增强和进入反应室的热通量的减少
机译:在大气压下使用脉冲调制感应热等离子体控制流入反应室的激发原子数
机译:使用脉冲调制的感应热等离子体控制氮原子和焓流入反应室的控制数量
机译:多尺度计算流体动力学模型热和等离子体原子层沉积:腔室设计和过程控制的应用
机译:腔室壁对使用循环Ar / C4F8等离子体的氟碳辅助的SiO2原子层蚀刻的影响
机译:在大气压下使用脉冲调制的感应热等离子体控制流入反应室的激发原子的数量
机译:氮氧化物(NOx)的反应导致在非热等离子体(NTp)中形成硝酸(HNO3)。战略环境研究与发展计划(sERDp)白皮书(合规项目Cp-1038:用于控制大气排放的非热等离子体反应堆技术的开发)