机译:在硅器件加工过程中监测金属和有机污染物的不同测量技术的比较分析
ST Microelectronics, via Olivetti, 2, 20864 Agrate Brianza, MB, Italy;
ST Microelectronics, via Olivetti, 2, 20864 Agrate Brianza, MB, Italy;
ST Microelectronics, via Olivetti, 2, 20864 Agrate Brianza, MB, Italy;
ST Microelectronics, via Olivetti, 2, 20864 Agrate Brianza, MB, Italy;
MEMC Electronic Materials SpA, A Sunedison Company, Viale Gherzi 31, 28100 Novara, Italy;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany;
contamination; DLTS; generation lifetime; metal; organic; recombination lifetime;
机译:化学分析技术研究有机半导体器件上有机金属界面的自掺杂和部分氧化
机译:利用X射线CT和3D图像处理技术对成型设备和复杂组件进行无损故障分析和测量
机译:优化硅工艺以在线监测金属污染
机译:应用于硅装置处理污染的痕量金属的高级监测
机译:稀有气体测量和分析技术,用于监测后处理设施。
机译:与有机和常规生产和加工有关多药物抗性生物的零售肉样品的污染:来自美国国家抗菌性监测系统的数据的横截面分析2012-2017
机译:一种监测硅片水溶液中金属污染的光学方法
机译:扩展范围mIs C(V)测量:监测半导体器件处理的技术。