机译:具有亚纳米周期误差的简单外差激光干涉仪
Mechatronic System Design, Department of Precision and Microsystems Engineering,Delft University of Technology, Delft, The Netherlands2NMi Van Swinden Laboratorium BV, Delft, The Netherlands* Corresponding author: k.joo@tudelft.nl;
机译:具有亚纳米周期误差的简单外差激光干涉仪
机译:外差激光干涉仪中亚纳米级的周期性误差的线性插值(尺寸测量)
机译:亚纳米周期非线性的平衡平面镜外差干涉仪
机译:外差式激光干涉仪中周期633nm的线性插值,用于亚纳米尺寸测量
机译:外差式干涉术中周期性误差的小波分析。
机译:外差式激光干涉仪中由幻影反射引起的非线性误差及其与光学混合的耦合
机译:具有亚纳米周期误差的简单外差激光干涉仪