基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法

摘要

本发明涉及一种基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法。传统的定位方法精度不高。本发明中的双频激光器输出两频差为的正交线偏振光，入射到光学镜组，构成外差式双频激光干涉仪。双频激光干涉仪作为微位移监测单元，实时监测微动工作台偏移锁定位置所发生的位移，同时双频激光干涉仪输出测量光，双频激光器输出参考光，测量光和参考光经光电转换后进行鉴相电路，鉴相后输出与相位差相对应的模拟电压，作为控制电压驱动微动工作台的移动。本发明省却相位差转换为位移的环节，减少了误差项，使得系统装置简单易行，且大大提高了系统的频率响应及定位精度。