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纳米级二维激光外差干涉仪的设计

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纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目，而预先研究的关键技术之一，即激光外差干涉测量仪...

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来源
《大连理工大学学报》|1997年第S2期|P.117-117|共1页
作者
陈晓梅; 曹航; 周自力; 亓爱会;
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作者单位

长城计量测试技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
激光外差; 干涉仪; 纳米级; 微动工作台; 扫描隧道显微镜; 计算机控制; 原子力显微镜; 激光外差干涉; 计量测试; 处理系统;
入库时间 2022-08-19 21:03:27

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