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机译:先进的P + / N超浅结制造工艺引起的硼瞬态增强扩散研究
ST Microelect, F-38926 Crolles, France;
plasma doping; P+/N ultra-shallow junctions; boron; transient enhanced diffusion; ultra-low energy implanter; secondary ion mass spectrometry; buried marker-layers;
机译:Si-和Si_xGe_(1-x)超浅结注入后和高级快速热退火中硼扩散的非高斯局部密度扩散(LDD-)模型。
机译:插入氧层对硼,磷和砷在硅中扩散的影响,形成超浅结
机译:后坐力植入形成的超浅P + / N结
机译:氧化后的低能量植入硼在超浅P + / n结形成中增强扩散
机译:离子注入引起的硼掺杂硅瞬态失活和扩散过程的物理学和建模。
机译:特定频率电针刺激瞬时提高血脑屏障的渗透性并诱导紧密结变化
机译:使用激光热处理为ULSI技术制造超浅结和高级栅极堆叠