強い技術でライバルを抜き去る

摘要

EUV（extreme ultraviolet）露光実用化の最大の課題といわれる「光rn源」。急速に出力を高めているLPP（laser produced pJasma）方式で，米rnCymer,lnc.と開発を競っているのがギガフォトンである。出力とともに，rn集光ミラーや光源の寿命を延ばす技術の開発に力を入れている。ギガフォrnトンの開発責任者に，開発の進ちょくとCymerに打ち勝つ戦略を聞いた。