450mm装置開発の加速を狙ぃ推適派が性能の目標値を詏定

摘要

450mmウェーハへの移行に向けて，米IntelrnCorp.，韓国Samsung Electronics Co.，Ltd.，rn台湾Taiwan Semiconductor ManufacturingrnCo.，Ltd.（TSMC）の推進派3社が，次の手に打rnって出た(図1,図2)。450mm化の取り組みをrn実践する米International SEMATECH Manu－rnfacturing Initiative（ISMI）を通じ，450mm対rn応装置の性能指標「Equipment PerformancernMetrics（EPM）」を装置メーヵーに提供し始めrnた。