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机译:遵循与铜互连兼容的3D镶嵌架构,集成了高密度Ta_2O_5 MIM电容器
STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles Cedex, France;
metal-insulator-metal capacitor; high k dielectric; damascene architecture;
机译:从2D架构到3D架构的MIM大马士革电容器HF性能变化
机译:将低介电常数电介质集成到Al双镶嵌结构中,以实现低寄生片上互连应用
机译:用于超大规模集成的铜镶嵌互连的电子背散射衍射分析
机译:Ta
机译:单层镶嵌铜高密度互连结构热诱导非弹性变形的实验和有限元研究。
机译:铜双镶嵌互连的早期电迁移失败的紧凑模型
机译:基于物理的铜双镶嵌互连电迁移诱导故障模拟