机译:用于超大规模集成的铜镶嵌互连的电子背散射衍射分析
Seoul Natl Univ, Res Inst Adv Mat, Seoul 151744, South Korea;
anisotropy; copper; metallization; nanostructures; X-RAY-DIFFRACTION; CU; TRENCHES; TEXTURE; LINES;
机译:窄铜镶嵌互连线中的纹理和应变:X射线衍射分析
机译:双镶嵌铜互连工艺中聚合物残留物化学成分分析及其对通孔接触电阻的影响
机译:电子背散射衍射图样在高压退火工艺填充的铜镶嵌金属互连中的应用
机译:窄铜互连的电子对散射衍射分析,以研究微观结构的比例效应
机译:将石墨烯与铜互连集成,用于将来节能可靠的纳米电子系统
机译:铜双镶嵌互连的早期电迁移失败的紧凑模型
机译:基于用电子反向散射衍射基于定量微结构分析来区分铜熔融标记的新方法