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机译:退火对Si上Hfo_2,Hfsi_xo_y和Hfo_yn_z薄膜的物理和电学特性的影响
Fraunhofer Institute, Center of Nanoelectronic Technologies (CNT), Koenigsbruecker Str., 01099 Dresden, Germany;
hfo_2; gate oxide; high-k; annealing; leakage current; bandgap;
机译:压缩应变Si_(0.74)Ge_(0.26)/ Si杂层上的超薄HfO_2 / HfSi_xO_y堆叠栅极电介质的物理和电学性质
机译:表面溶胶-凝胶法及反应退火法制备(HfO_2)_x(SiO_2)_(1-x)超薄膜的制备及电学特性
机译:多步沉积退火HfO_2薄膜的物理,电学和可靠性特征
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机译:磁性生长和氧退火的SnO2:Co薄膜的物理性质。
机译:快速热退火对原子层沉积生长Zr掺杂ZnO薄膜的结构电学和光学性质的影响
机译:退火对物理气相沉积法制备WO3薄膜结构,光学和电学行为的影响