机译:通过深度非晶化和固相外延再生工艺制造的(1 1 0)p沟道SOI-MOSFET的性能
Department of Electrical Engineering. Osaka City University, 558-8585, 3 Sugimoto Sumiyoshi, Osaka, Japan;
epartment of Electronics, Uiduk University, 780-713 Gangdong, Cyeongju, Republic of Korea;
CEA-LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
CEA-LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
SOITEC, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France;
CEA-LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
CEA-LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
IMEP-LAHC, Grenoble INP Minatec, 3 Parvis L. Nee/, 38016 Grenoble Cedex I. France;
SOI; MOSFET; hybrid surface orientation; deep amorphization; solid-phase epitaxial regrowth; hole mobility;
机译:薄体SOI MOSFET中混合取向技术的深非晶化和固相外延再生工艺
机译:再谈应变在离子注入硅固相外延再生中的作用
机译:使用水平集方法对二维固相外延生长进行建模
机译:固相外延再生对非扩散闪燃45nm SOI-MOSFET的装置性能的影响
机译:使用水平集方法对固相外延再生进行二维建模。
机译:不同金属覆盖层对P沟道SnO薄膜晶体管电性能和稳定性的影响
机译:si上制备的弛锗 - 锡p沟道隧道场效应晶体管:sn成分和单轴拉伸应变的影响
机译:弛豫和应变si(sub 1-x)Ge(sub x)外延层中固相外延再生的时间分辨反射率研究