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机译:“末端效应”对铜电化学沉积的影响:不同金属化选项的填充能力
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Heverlee. Leuven, Belgium;
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copper; terminal effect; direct on barrier plating; metallization options;
机译:铜在图案化的Cu / Ta(N)/ SiO_2表面上的电化学沉积,用于亚微米特征的超填充
机译:铜在图案化的Cu / Ta(N)/ SiO2 sub>表面上的电化学沉积,用于亚微米特征的超填充
机译:用于TSV填充的电沉积化学物质对Cu的微观结构和热机械响应的影响
机译:PEG和SPS的时效对CU电化学沉积的填充能力的影响
机译:金属电化学原子层沉积在半导体互连金属化中的应用
机译:使用不同电流密度的铜电化学沉积的动态硅通孔填充工艺
机译:研究加油站周围航空金属沉积对环境的影响,并采取补救措施,以减少铅金属的升高