机译:具有窄间隙硅尖端和带磁致伸缩FePd薄膜激励器的可切换悬臂的双AFM探针的制造和表征
Yamagata Univ, Grad Sch Sci & Engn, Yonezawa, Yamagata 9928510, Japan;
Yamagata Univ, Grad Sch Sci & Engn, Yonezawa, Yamagata 9928510, Japan;
Yamagata Univ, Fac Engn, Yonezawa, Yamagata 9928510, Japan;
Dual AFM cantilever; FePd thin film; Magneto-strictive effect; Dual silicon tip;
机译:使用SOG和磁致伸缩薄膜堆叠双悬臂梁的Si沟槽填充来窄间隙双AFM尖端的自对准制造
机译:集成锐利尖端和压电元件的悬臂梁的制造和表征,用于平行原子力显微镜应用的驱动和检测
机译:悬臂的制造和表征,带有集成的锋利尖端和压电元件,用于并行AFM应用的致动和检测
机译:使用在> 110 <块状硅晶片中实现的重掺硼硅悬臂的AFM探针头
机译:自激,自感应PZT /二氧化硅压电微悬臂梁传感器的合成,制备和表征
机译:在分批制造过程中将尖锐的氮化硅尖端集成到高速SU8悬臂中
机译:D4.3 - 用于快速触觉悬臂传感器保护铝氧化铝薄膜的硅探头尖端