机译:对“ M测试:使用静电驱动的测试结构测量记忆材料性能的测试芯片”的更正
机译:M-TEST:一种用于使用静电驱动测试结构测量MEMS材料性能的测试芯片
机译:VM-TEST:使用在厚金属层中制造的静电驱动垂直MEMS测试结构进行机械性能测量
机译:基于人字形热致动器的原位测量MEMS薄膜断裂强度的测试结构设计
机译:基于片上的基于MEMS的内应力致动结构,用于机械测试的独立薄膜材料
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:m-TEsT:使用静电驱动测试结构测量mEms材料特性的测试芯片