机译:具有高频输出的CMOS微加工电容式触觉传感器
CMOS image sensors; capacitive sensors; fingerprint identification; micromachining; microsensors; tactile sensors; 0.56 micron; 153 fF; 200 micron; 49.5 MHz; 63 fF; CMOS; astable oscillator; capacitive sensor; complementary-metal-oxide semiconductor; fingerprint recogn;
机译:具有高频输出的CMOS微加工电容式触觉传感器
机译:具有集成读出电路和过程变化补偿的CMOS微加工电容式触觉传感器
机译:多孔硅体微加工的CMOS集成式触觉传感器阵列
机译:补偿过程变化的CMOS微机械电容式触觉传感器
机译:电容式CMOS-MEMS惯性传感器的传感和控制电子设计。
机译:LTCC插入器上具有倒装CMOS的3轴全集成电容式触觉传感器
机译:具有0.8μm的CMOS集成表面微机动电容式压力传感器,具有EEPROM修剪和用于轮胎压力监测系统的数字输出
机译:表面微机械电容式触觉图像传感器