机译:掺杂引起的热激励高频硅微机械谐振器的温度补偿
机译:氧化物沟槽阵列作为AIN硅上微机械谐振器中被动温度补偿结构的有效性
机译:利用非线性幅度-频率依赖性进行硅微机械谐振器的温度补偿
机译:用于航空颗粒质量传感的热致动微机械谐振器的制造与表征:I.谐振器设计与建模
机译:简并掺杂对硅微机械谐振器的温度补偿
机译:具有压阻读数的高频热激励单晶硅微机械谐振器。
机译:具有微串谐振器的温度调制微机械热分析可检测小分子玻璃化转变的多个相干特征
机译:电热和压电驱动的碳化硅mEms谐振器的温度稳定性