机译:压力加加速复合TPMS传感器与单面微加工技术的单片集成
机译:具有单面微机械线技术的压力加速度复合TPMS传感器的单片集成
机译:采用单面微加工技术的加速度,压力和温度复合传感器的片上集成
机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:压力+ X / Z两轴加速度复合传感器单片集成在非soo晶片中,用于升级TPMS(轮胎压力监测系统)的生产
机译:微加工的光学询问压力传感器和传感器阵列。
机译:采用单侧批量微加工技术的压力加2轴(X / Z)加速度复合TPMS传感器的片上集成
机译:压力加上2轴(X / Z)加速复合TPMS传感器的片上整合,具有单面散装微机械线技术
机译:微电子与表面微加工多晶硅传感器和执行器单片集成的材料和加工问题