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【2h】

On-Chip Integration of Pressure Plus 2-Axis (X/Z) Acceleration Composite TPMS Sensors with a Single-Sided Bulk-Micromachining Technique

机译：压力加上2轴（X / Z）加速复合TPMS传感器的片上整合，具有单面散装微机械线技术

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Jiachou Wang; Fang Song;
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年度 2019
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