...
机译:CMOS-MEMS谐振器的差分压阻传感
NanoEngineering and MicroSystems Institute, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan|c|;
CMOS-MEMS resonators; RF-MEMS; differential; feedthrough reduction; high Q; piezoresistive sensing; temperature compensation;
机译:具有静电驱动和压阻传感的CMOS-MEMS预应力垂直悬臂谐振器
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:体模微机械谐振器中的压阻式压敏传感
机译:使用差模操作的热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振器阵列
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于静电梳状驱动和压阻感测侧向谐振器的谐振压力传感器
机译:嵌入在寄生电容馈通中的压阻感应MEMS谐振器的直接参数提取