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机译:压电转换温度补偿的弯曲模式硅谐振器
University of Michigan, Ann Arbor, MI, USA|c|;
Microelectromechanical systems (MEMS) resonators; oscillators; passive temperature compensation; piezoelectric resonators; power handling;
机译:压电换能碳化硅MEMS双钳位束谐振器
机译:压电锆钛酸盐钛酸酯薄膜诱导的微机械硅盘谐振器
机译:电压可调压电换能单晶硅微机械谐振器
机译:机械温度补偿的弯曲模式微机械谐振器
机译:绝缘体上硅(SOI)晶片上的集成静电和压电转换轮廓模式MEMS谐振器
机译:Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构
机译:具有压电驱动和传感的热压和压电可调谐弯曲模式谐振器
机译:温度补偿压电材料