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扩散硅压电转换气动位移传感器特性分析

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摘要

研究了利用压力位移气动传感方法和扩散硅压力传感器所组成的系统,通过理论和实验方法对系统的特性、误差进行了分析,对系统的非线性进行修正后,可实现测量范围达100μm,测量精度为±1μm的要求.

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来源
《传感技术学报》|1996年第2期|16-20|共5页
作者
胡生清; 罗本进;
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作者单位

合肥工业大学精密仪器系,合肥,230009;

合肥工业大学精密仪器系,合肥,230009;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
位移传感器; 气动测量; 扩散硅; 压力传感器;

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