压电结构电/气转换装置的研制及其特性分析

摘要

根据压电双晶片执行器驱动特点,设计了基于压电结构的电/气转换装置。通过对其静特性的理论分析,推导出背压室气压随电压变化数学模型,得到气压变化理论特性曲线,并通过和试验结果的比较,表明理论分析和试验结果具有良好的一致性,为压电新结构电/气转换器和定位器的研制打下基础。