机译:SU-8 2002表面微加工可变形膜镜
Department of Electrical and Computer Engineering, Montana State University, Bozeman, MT, USA;
Etching; Lenses; Mirrors; Optical imaging; Silicon; Stress; formula formulatype="inline"tex Notation="TeX"$hbox{XeF}_{2}$/tex/formula; Deformable mirror; SU-8 2002; focus control; microelectromechanical systems (MEMS); tetramethylammonium hydroxide (TMAH); variable-power lens;
机译:本征模在基于微机械膜变形镜的自适应光学系统中的应用
机译:本征模在基于微机械膜变形镜的自适应光学系统中的应用
机译:基于盲优化和微机械膜变形镜的紧凑型自适应光学系统
机译:用于使用SU-8 2002的聚合物可变形膜镜用于聚焦控制
机译:带有微机械膜可变形镜的自适应光学器件,用于高分辨率视网膜成像。
机译:具有SU-8膜和挠性的MEMS 3D扫描镜适用于高NA显微镜
机译:用于光学像差校正的45元连续面板表面微加工可变形镜
机译:微机械薄膜可变形镜的表征(Karakterisering av en Deformerbar membranspegel)