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机译:3自由度MEMS静电活塞管执行器
Department of Mechanical and Industrial Engineering, University of Toronto, Toronto, ON, Canada;
Microactuators; microelectromechanical devices; microelectrostatic actuators; microfabrication;
机译:静电致动器驱动的3-DOF柔性纳米定位器新设计的分析研究
机译:通过流场静电驱动驱动的MEMS拱门局部非线性动力学
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:光学手术中三自由度微操纵器静电执行器的结构分析和静态响应
机译:静电致动MEMS微镜用于光检测和测距的设计与建模
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:激光显微外科中用于3自由度微操纵器的静电执行器的特性和微装配。