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机译:使用带图案的底部电极逐步驱动静电双压电晶片悬臂执行器
School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea;
School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea;
Steady-state; Electrodes; Electrostatics; Electrostatic actuators; Force; Microelectromechanical systems;
机译:具有热/静电组合驱动的U形双压电晶片微机电悬臂
机译:使用热双压电晶片驱动器的具有可调角度位置的面外弯曲的悬臂微结构,适用于换能器应用
机译:考虑磁滞效应和动力学行为分析的双压电晶片压电悬臂执行器的连续动态建模
机译:具有新型悬臂和电极的大弯曲低压驱动静电致动器的研究
机译:热双压电晶片悬臂,静电扭转执行器和可变电容器的优化研究
机译:软聚合物压电双压电晶片悬臂式蠕动微型泵
机译:使用压电双芯片的致动和传感功能的悬臂梁的自适应振动控制
机译:基于NiTi形状记忆合金(sma)的溅射镍钛(NiTi)应力和热驱动悬臂双压电晶片的表征。