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机译:统一的Epi-Seal工艺制造高稳定性微机电设备
Mechanical Engineering Department, Stanford University, Stanford, CA, USA;
Wafer-level encapsulation; hermetic encapsulation; high quality factor; high stability resonator; low pressure; low pressure.;
机译:微机电系统发电机热电与振动装置的整体集成制造工艺
机译:使用微机电加工技术在3C-SiC中制造霍尔器件结构
机译:微机电系统器件制造过程中通过退火对金结构进行表面清洁
机译:一种使用氮化硅牺牲层的微机电装置的干蚀刻制造工艺
机译:用于射频模拟信号处理的微机电装置和制造技术
机译:具有组密钥支持的统一紧凑型ECC-AES协处理器对无线传感器网络中的IoT设备提供支持
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征
机译:用于微机电装置的制造系统,方法和设备