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刘刚; 伊福廷; 等;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
合肥230026;
北京正负电子对撞机国家实验室;
北京100039;
LIGA工艺; 微驱动马达; 同步辐射; 深度X射线光刻;
机译:类似于LIGA工艺制造的新型U形微通道光纤温度传感器
机译:通过LIGA工艺制造的高精度微反射镜阵列及其在抽头延迟线滤波器中的应用
机译:类LIGA工艺制造的微磨粒工具的磨削特性
机译:利用LIGA工艺制造高长径比静电微驱动器的研究。
机译:通过使用LIGA工艺制造高纵横比的振动圆柱微陀螺仪结构。
机译:委内瑞拉地方性马脑炎地方性地区流行的马达加拉加脑炎的流行病学:巴拿马达里恩市的初步宿主研究和人类跨学科研究
机译:通过同步辐射使用LIGA工艺制造微模制插入件。
机译:由LIGa工艺制造的微型波荡器
机译:用于LIGA工艺的掩模,制造掩模的方法以及使用LIGA工艺制造微结构的方法
机译:用于liga工艺的面膜,制造面膜的方法以及使用liga工艺制造微结构的方法
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