机译:大型垂直位移微镜的基于共振感应耦合的活塞位置传感机制
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA;
Inductive position sensing; eddy currents; electromagnetic image theory; piston scanning micromirror; piston scanning micromirror.; resonant inductive coupling; sensing coil;
机译:通过频率检测感应传感同时感测大型垂直位移微镜的活塞位置和倾斜角
机译:由自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子两轴常平架倾斜活塞微镜阵列
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:感应涡流传感作为大活塞/旋转微镜的位移传感机构
机译:集成的无源和共振感应耦合作为大活塞/旋转微镜的位移传感机构。
机译:具有大扫描角度的PZT致动和感应谐振微镜采用机械杠杆放大技术进行双轴扫描
机译:具有大扫描角的pZT驱动和激活谐振微镜应用机械杠杆放大进行双轴扫描
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计