Inductive position sensing; eddy currents; mutual coupling; piston scanning micromirror; sensing coil;
机译:大型垂直位移微镜的基于共振感应耦合的活塞位置传感机制
机译:通过频率检测感应传感同时感测大型垂直位移微镜的活塞位置和倾斜角
机译:脉冲涡流的感应和固态感应:比较研究
机译:电感涡流传感作为大活塞/旋转微镜的位移传感机构
机译:集成的无源和共振感应耦合作为大活塞/旋转微镜的位移传感机构。
机译:感应线圈形状对薄型感应线圈和图案导向的线性位移传感器传感性能的影响
机译:涡流传感对目标温度效应的建模与仿真:朝向并发位移和温度估计
机译:用于水下次声测量的涡流非惯性位移传感