用于压电驱动共振微镜的压电式位置传感器

摘要

本发明实施例提供一种装置，所述装置包括微镜、包含或支持所述微镜的励磁结构以及至少一个压电式传感器。所述的励磁结构包括至少一个压电式执行机构，所述励磁结构的配置可以对所述微镜进行共振励磁，从而使所述微镜发生偏转。至少要配置一个压电式传感器以提供取决于所述微镜偏转的传感器信号，所述压电式传感器连接至所述的励磁结构，从而在所述微镜的共振励磁过程中所述的传感器信号和所述微镜的偏转之间可以形成固定的相互间的相位关系。