机译:MEMS应用异质外延3C-SiC / Si的力学性能和残余应力评估
Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto di Microelettronica e Microsistemi CNR-IMM, Z.I. VIII Strada 5 I, 95121 Catania, Italy;
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residual stress; epitaxial 3C-SiC; micro-machined structures.;
机译:使用MEMS结构确定的3C-SiC(100)薄膜的力学性能和残余应力
机译:利用MEMS结构确定3C-SiC(111)薄膜的力学性能和残余应力
机译:用于MEMS的异质外延3C-SiC的高级残余应力分析和有限元模拟
机译:MEMS应用中异质轴3C-SIC / SI的机械工作和残余应力评估
机译:使用拉曼光谱法表征微机电系统(MEMS)装置中的残余应力。
机译:Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC的动力学表面粗糙化和晶圆弯曲控制
机译:用于mEms应用的si上3C-siC薄膜:机械性能
机译:用拉曼光谱表征微机电系统(mEms)器件中的残余应力