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机译:ULE〜?形状误差校正的两阶段离子束修整和平滑方法极紫外光刻投影光学系统的基底:高空间频率粗糙度的评估
Tokyo University of Science, 2641 Yamazaki, Noda, Chiba 278-8510, Japan;
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机译:ULE〜?的低能Xe〜+离子束加工EUVL投影光学用基片-高空间频率粗糙度的评估
机译:用于非球面极紫外光刻投影光学的超低膨胀玻璃基板的低能Xe +离子束加工
机译:低能Ar〜+离子束加工在Zerodur〜?上沉积的Si薄层极紫外光刻投影光学用基板
机译:用于极端紫外线光刻(EUVL)MicroField曝光工具(“Met5”)的第一个0.5 NA投影光学器件
机译:用于极端紫外线光刻(EUVL)微场曝光工具(METS)的投影光学器件,数值孔径为0.5