机译:使用电子束点刻蚀技术的光子晶体基器件的纳米加工
Faculty of Applied Science and Engineering, Emerging Communications Technology Institute, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S 3G4, Canada;
Faculty of Applied Science and Engineering, Emerging Communications Technology Institute, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S 3G4, Canada;
Faculty of Applied Science and Engineering, Emerging Communications Technology Institute, 10 King's College Road, Toronto, Ontario M5S 3G4, Canada;
机译:点电子束光刻技术作为高分辨率图案纳米加工的新方法
机译:光子器件绝缘基板上的高通量电子束光刻
机译:通过电子束光刻对光子晶体器件进行构图的系统考虑
机译:点电子束光刻作为一种高分辨率图案纳米制作的新方法
机译:通过新型纳米加工技术实现的分层多位簇和图案化介质-高分辨率电子束光刻和嵌段聚合物自组装。
机译:像差校正电子束光刻对悬浮石墨烯器件电子传输的影响的原位研究
机译:基于光子晶体的紧凑型大功率真空电子设备