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机译:使用自对准双层抗蚀剂加工技术制备包含纳米孔的芯片上流体通道
Department of Electronic Engineering, Hanyang University, Seoul 133-791, South Korea;
机译:具有多层流控技术和片上生物测定/纯化室的固态硬微流控纳米孔生物传感器
机译:双层抗蚀系统中类似蘑菇形的电子束光刻双步曝光技术
机译:使用片上微电磁体和多层通道的电磁微流控细胞标记装置
机译:用于使用负厚膜抗蚀剂的显影剂渗透性的微流体装置的嵌入式双层微通道制造
机译:用于MMIC器件制造的亚微米自对准栅极砷化镓镓MESFET处理技术。
机译:带有多层流控和片上生物测定/纯化的固态硬微流体纳米孔生物传感器室
机译:使用负厚膜抗蚀剂的显影剂渗透性的微流控设备嵌入式双层微通道制造