机译:用于高电子迁移率晶体管制造中不对称凹槽和伽马栅极的单步电子束光刻
Natl Cent Univ, Dept Elect Engn, Chungli 32054, Taiwan;
机译:高电子迁移晶体管制造中的T型栅极的单步电子束光刻归档
机译:使用电子束光刻技术制造具有单电子晶体管读数的直接探测器阵列的隧道结
机译:使用电子束光刻技术制造具有单电子晶体管读数的直接探测器阵列的隧道结
机译:使用电子束光刻技术形成用于晶体管T型栅极的多层抗蚀剂掩模
机译:栅长短的栅凹氮化镓高电子迁移率晶体管。
机译:AlGaN / GaN高电子迁移率氟处理和凹槽通过氟处理和凹陷栅极充电效果
机译:用电子束制作的钛单电子晶体管 光刻