...
机译:关键尺寸扫描电子显微镜在25 nm间距光栅参考下的放大倍率校准
Hitachi, Ltd. Central Research Laboratory 1 -280, Higashi-koigakubo Kokubunji, Tokyo 185-8601 Japan;
Hitachi, Ltd. Central Research Laboratory 1 -280, Higashi-koigakubo Kokubunji, Tokyo 185-8601 Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation 882, Ichige Hitachinaka, Ibaraki 312-8504 Japan;
机译:关键尺寸扫描电子显微镜在25 nm间距光栅参考下的放大倍率校准
机译:整体计量方法:利用散射测量,临界尺寸-原子力显微镜和临界尺寸扫描电子显微镜的混合计量
机译:临界尺寸扫描电子显微镜测量条件优化研究
机译:通过X射线衍射校准25 nm节距光栅基准
机译:光刻生产的扫描电子显微镜放大倍率标准原型的实验室间研究
机译:在时间和放大率方面,要快速校准扫描电子显微镜中的整体漂移。
机译:用于JEOL Jsm-2扫描电子显微镜的简单恒定放大标本支架。