机译:利用固定束移动台电子束光刻制造锥形波导的方法
Indian Institute of Science Centre for Nano Science and Engineering Photonics Research Laboratory Bengaluru India;
e-beam lithography; fixed-electronic-beam-moving-stage; photonic integrated circuits; taper; optical waveguide; slot waveguide; resonator; power splitter; couplers;
机译:用于光子波导制造的电子束光刻:场拼接误差对光学性能的影响的测量和新补偿方法的评估
机译:电子束光刻和纳米压印光刻技术制备的SOI光子晶体的研究
机译:通过原位电子束光刻制造的1.3μm的确定性光子结构中的InGaAs / GaAs量子点的增强光子提取效率
机译:使用固定光束移动台电子束光刻演示锥形波导的无对准误差图案化
机译:用于多束电子束光刻的薄膜栅极光阴极。
机译:电子束光刻技术制作的单模锥形垂直SU-8波导用于分析物传感
机译:通过全息光刻和双光子光刻相结合制造的具有波导缺陷结构的光子晶体
机译:使用电子束和X射线光刻制造的X射线区域板