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机译:使用多孔硅技术的平面CMOS兼容工艺,用于在硅中制造埋入式微通道
Buried microchannels; Microfluidic sensor; Porous silicon technology;
机译:嵌入硅中的高纵横比微通道的单步CMOS兼容制造
机译:兼容CMOS制造工艺的硅光子器件
机译:CMOS兼容自上而下的脱胶工艺制备硅纳米线场效应晶体管生物传感器
机译:新颖的低温CMOS兼容全晶片粘接工艺,用于使用SU-8制造3D嵌入式微通道的制造
机译:Silicon-CMOS BEOL兼容的材料系统和片上光学互连组件的处理。
机译:CMOS兼容的硅纳米线场效应晶体管生物传感器:面向商业化的技术发展
机译:完全兼容CMOS的自上而下的低于50 nm硅纳米线感测设备的制造
机译:silicon / pyrex planar microbattery兼容硅工艺的微电源