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机译:通过原子层沉积控制ZnO薄膜的优选取向
Basic Research Laboratory Electronics and Telecommunications Research Institute;
Display Device Center Device Solution Network Samsung Electronics Co. Ltd.;
机译:ZnO薄膜的低温原子层沉积:结晶度和取向的控制
机译:原子层沉积温度对ZnO和氟掺杂ZnO薄膜生长取向,形态和电,光学和带结构性能的影响
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:等离子体增强原子层沉积的铝掺杂HFO_2膜的优选取向和Al分布的相关性
机译:用于大面积电路应用的等离子增强原子层沉积ZnO薄膜晶体管。
机译:次饱和等离子体增强原子层沉积法将锌酮样转变为多孔ZnO薄膜
机译:超声沉积的各种沉积速度的ZnO纳米薄膜的溶胶凝胶制备:高度优选的c轴(0 0 2)取向可增强最终性能