阴极电沉积ZnO薄膜的取向控制生长

摘要

随着取向的不同，ZnO薄膜在许多性质方面都表现出较大差别，因此在生长过程中控制ZnO薄膜的取向对于其实际应用是非常重要的。目前文献报道的用各种物理或化学方法制备的择优取向ZnO薄膜基本上都是沿c轴(<002>轴)生长的。本文采用阴极电沉积方法，在Zn(NO3)2+KNO3的混合水溶液中，以304不锈钢(ss)为衬底制备了沿小同晶向择优取向生长的ZnO溥膜。