机译:平面内和平面外双斜镜联动的MEMS多功能光学器件的设计和性能
Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, China;
Microelectromechanical systems (MEMS); multifunctional device; optical power splitter; optical switch (OS); variable optical attenuator (VOA);
机译:新型多功能光学器件的光学设计和性能
机译:光栅辅助光学微探测微机电装置的平面内和平面外位移
机译:大端口数光开关中MEMS镜的设计,非线性伺服控制及其性能
机译:基于条纹电容的平面内和外平面的MEMS运动传感器
机译:非结构隔墙的面内和面外抗震性能模拟。
机译:使用三维曲面MEMS镜的平面内光束准直
机译:基于边缘电容的平面内和平面外MEMS运动传感器
机译:用边界元法分析面内和面外地面运动