首页> 中国专利> 用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统

用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统

页面导航

摘要

本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽，以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。

1. 用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统 [P] . 中国专利： CN110140038B . 2021.06.15
2. 用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统 [P] . 中国专利： CN110140038A . 2019-08-16
3. Integrated optical probe card and system for batch testing of optical MEMS structures with in-plane optical axis using micro-optical bench components [P] . 美国专利： US10782342B2 . 2020-09-22

机译：集成光学探针卡和系统，用于使用微光学工作台组件批量测试具有面内光轴的光学MEMS结构
4. INTEGRATED OPTICAL PROBE CARD AND SYSTEM FOR BATCH TESTING OF OPTICAL MEMS STRUCTURES WITH IN-PLANE OPTICAL AXIS USING MICRO-OPTICAL BENCH COMPONENTS [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3542141A1 . 2019-09-25

机译：集成光学探针卡和系统，用于使用微光学平台组件对具有平面光学轴的光学MEMS结构进行批量测试
5. INTEGRATED OPTICAL PROBE CARD AND SYSTEM FOR BATCH TESTING OF OPTICAL MEMS STRUCTURES WITH IN-PLANE OPTICAL AXIS USING MICRO-OPTICAL BENCH COMPONENTS [P] . 世界知识产权组织专利： WO2018094407A1 . 2018-05-24

机译：集成光学探针卡和系统，用于使用微光学平台组件对具有平面光学轴的光学MEMS结构进行批量测试